Estación de pruebas manual- Wentworth Lab
*mediciones a nivel de oblea,
*chuck con capacidad para obleas de hasta 8 pulgadas.
*sistema de calefacción del plato con controlador de temperatura hasta 300 °C.
*6 micromanipuladores manuales con resolución de 2μm.
*2 micromanipuladores motorizados controlados por software.
*microscopio óptico con foco manual, ocular 10x y objetivos de 2x, 10x y 20x.
*sistema de video color con cámara CCD. *captura de imágenes y video.
*mesa antivibratoria. |
Keithley -Instrumental para caracterzación
*sistema de caracterización de semiconductores modular integrado modelo 4200-SCS.
*6 unidades de medición e inyección de señal (SMU).
*2 pre-amplificadores.
*2 generadores de pulsos.
*Analizador de CV modelo 590 para medición en alta frecuencia (100 KHz/1MHz).
*matriz de interconexión modelo 707Acon una tarjeta matricial para medición en baja corriente modelo 7174A de 12x8 expandible hasta 72x8. |
